產品特點:99%的處理效率;高安全性;低運行成本,更換吸附劑方便;PLC控制,超長時間穩定運轉;適用于:非晶硅薄膜太陽能電池、液晶顯示器等PECVD制程、半導體、微電子等行業中制程中產生的部分毒性廢氣;常用于特氣輸送系統Vent氣體處理;