產品特點：99%的處理效率；高安全性；低運行成本，更換吸附劑方便；PLC控制，超長時間穩定運轉；適用于：非晶硅薄膜太陽能電池、液晶顯示器等PECVD制程、半導體、微電子等行業中制程中產生的部分毒性廢氣；常用于特氣輸送系統Vent氣體處理；
